Технические параметры
|
Диапазон измерений
| 0-10 мм. 0-20 мм. 0-30 мм. 0-40 мм. 0-50 мм. (0-100 мм фиксированный) |
Шаг
| 10um. 20um. |
Разрешение дисплея
| 0.1um. 0.5um. 1um. 5um. |
Точность
| ±0. 5мкм (0-10 мм). ± 5 мкм (0-20 мм). ± 5 мкм (0-50 мм). |
Точность повторяемости
| ± 1 значение дисплея. |
Сигнал Выход
| Разность фаз 90o амплитуда> 500 мв. Два или четыре синусоидальных сигнала (специальные требования могут быть 0) |
Операционной Напряжение
| Dc5v±3 % (Dc24v может быть настроен) |
Операционной Температура
| 40 °C -- 30 °C. Для хранения Температура. -30 °C-7 °C |